鏡頭與XY振鏡掃描儀結(jié)合使用稱為F-Theta鏡頭，平面領(lǐng)域目標(biāo)或簡易掃描鏡頭。ƒ-Theta鏡頭在工業(yè)材料加工，鉆孔，合成材料的焊接的各種應(yīng)用中使用，還包括在科學(xué)和研究領(lǐng)域中的醫(yī)療和生物（共焦顯微鏡，眼科）切割。設(shè)計(jì)和光學(xué)部件的質(zhì)量正在發(fā)揮決定性作用。對比于一個理想的平面或平面場，標(biāo)準(zhǔn)鏡片在球面上聚焦激光束。采用ƒ-Theta鏡頭提供了聚焦表面、整個XY平面圖像和掃描區(qū)域幾乎不變的光斑尺寸。平面上點(diǎn)的位置與掃描角是成正比的。