Agilent Varian SH-110泵擁有先進(jìn)的功能，包括4.0CFM抽速以及5.0×10 -2托的最終壓力。SH-110干式渦旋真空泵的設(shè)計便于集成到原始設(shè)備制造商（OEM）系統(tǒng)。這種單級泵為110升/分鐘的泵送速度（60赫茲功率）和50毫托（0.07毫巴）的極限壓力，是最終用戶理想的應(yīng)用程序。SH-110泵符合歐盟指令（CE），加拿大標(biāo)準(zhǔn)委員會（CSA）和Semi S2-0200的要求。

特點(diǎn)：

低溫運(yùn)行

1/4低功耗馬力電機(jī)

內(nèi)置排氣閥，低噪音的生產(chǎn)

排氣口可移動，在狹小的空間仍具有靈活性，

高壓條件下高抽速，可快速抽氣

低重量，裝有方便的提手

內(nèi)置故障安全隔離閥，保護(hù)真空系統(tǒng)

通用100-230 VAC電源，方便全球安裝

自動空氣鎮(zhèn)流器進(jìn)行有效的水分處理

快速密封替換，實(shí)現(xiàn)低成本使用