MALEMA流量控制器LFC-7000是一款超聲波液體流量控制器，這款高性能閉環(huán)流量控制器設計用于各種液體，包括去離子水、刺激性化學品和CMP拋光漿料。LFC-7000流量控制器采用無移動部件的超聲波流量計模塊提供“正常運行時間”（含夾管更換周期為 3 年或更長時間的漿料模塊）。

• 高精度，將流量控制在設定值的 ± 1%以內(nèi)
• 快速響應3 秒
• 2 種類型的控制閥應用范圍廣
• 廣泛的流量控制能力
• 全PTFE/PFA 潤濕部件結構 - 確保與高壓液體化學品、去離子水和 CMP 漿料兼容（漿料模塊配有鉑固化硅膠管）

產(chǎn)地：美國

標準滿量程范圍：50、100、250、500、1000、1500、2500、4000、8000、12000 mL/min

精度：（室溫DIW）：設定點的 ±1% 或± 3mL/min（以較大者為準）

重復性：設定值的 ±1% 或 ±1 mL/min（以較大者為準）

控制重復性：±設定點的 0.5% 或 ±0.5mL/min（以較大者為準）

流量控制時間：< 3 秒

流體溫度：10℃- 60℃

環(huán)境溫度：0 - 40℃

環(huán)境濕度：30 - 80% RH，不結露

預期工作壓力Max：50 磅/平方英寸

內(nèi)部壓力Max：70 磅/平方英寸

壓差范圍：7 至 30 psid

非接液部件外殼材料：PPS、PEEK、亞克力、乙烯基、PVC

接液部件材料：PFA、PTFE、鉑固化有機硅

阻燃：FMET4325

安裝方向：水平或垂直

流體連接：入口/出口：1/4" 或 3/8"，擴口或柱形

流量限制（孔口）：> 2 mm

入口防護等級：IP64

電源輸入：24 V±10 %

電流消耗Max：0.5 A

控制信號輸入：0 至 10 V或 4 至 20 mA

流量信號輸出：0 至 10 V或 4 至 20 mA

半導體CMP工具

基于蠕動泵的輸送系統(tǒng)

控制清潔化學品的混合和輸送

流體混合

點膠應用